Üç ısıtma bölgeli CVD tüp fırını - OTF-1200X-S tek sıcaklık bölgeli açık tip vakum tüplü fırın, çift katmanlı hava soğutmalı bir yapıya sahiptir. - Fırın gövdesinin yüzey sıcaklığı 60°C'nin altında tutulur. - Pompalama sistemine sahip tüp fırın, yüksek sıcaklıkta vakum adsorpsiyonu kullanılarak yüksek saflıkta alümina mikrokristalin elyaftan yapılmıştır. - İthal ısıtma direnç teli program eki, yüksek sıcaklık tüp fırın gövdesinin servis ömrünü uzatır.